Описание:

• Чистка - распылением
• Сепарация воздуха и азота
• Датчики давления азота и воды
• Внутренний вакуумный генератор для фиксации изделий
• Защитная блокировка
• Автоматическое закрытие / открытие    

 

Эффективные методы очистки

Установка оснащена центрифугой с держателем пластин и вращающимся манипулятором для подачи очищающей жидкости. Он может оснащаться соплом для распыления и соплом для подачи жидкости под высоким давлением, что обеспечивает комплексное решение для высококачественной отмывки широкого спектра различных типов пластин и подложек.   

Простота управления

ADT 977 очень проста в управлении. Интуитивно понятное управление легко позволяет оператору задавать желаемую последовательность программы отмывки, скорость вращения центрифуги и продолжительность отмывки. Общее количество хранимых программ отмывки до 8. В установке ведется постоянный мониторинг и отображение параметров процесса, его статуса и времени. 

Высокая универсальность ADT 977 поддерживает работу с пластинами диаметром до 300 мм. Под требования заказчика могут быть изготовлены различные рамки и оснастка для фиксации пластин.

 

Преимущества: 

• Компактность
• Чистка выполняется распылением и под  высоким давлением
• Проста в управлении – запуск одним нажатием с автоматическим закрыванием крышки
• Интуитивно понятная панель управления
• Отображение состояния и неисправностей позволяют контролировать процесс
• Световой индикатор состояния и сирена
• Соответствие высочайшим стандартам безопасности

Дополнительные опции:    Держатели: керамический 5”, 6”, 8” зажимные кольца для пластин без носителя Откачка мороси Ионизатор для предотвращения статического разряда Присадки для очистки Разделение стока Насос высокого давления Впрыск CO2

Пользовательский интерфейс системы 977

 

Технические характеристики:

Макс. размер изделия	Ø 200 мм (8”)
Методы чистки	Распыление / Под высоким давлением
Макс. количество программ чистки	8
Диапазон скорости вращения	200 – 3000 об/мин
Требования к подключению:
Энергопотребление	110/220 В 50/60 Гц, однофазная
Потребляемая мощность	300 Вт; в режиме ожидания - 50 Вт
Давление воздуха/азота	5 бар
Макс. скорость потока воды	1000 мл/мин
Давление воды	3-5 бар
Вытяжка	4250 л/мин (150 CFM)
Габариты (ШхДхВ)	410 х 625 х 980 мм
Вес	100 кг

 

Модификации установки WCS-977:

1. Стандартная, модель WCS-977 – возможность отмывки пластин диаметром до 8 дюймов
2. Расширенная, модель WCS-977LA – возможность отмывки пластин диаметром до 12 дюймов
3. С системой нанесения, модель WCS-977D – возможность нанесения/снятия защитного покрытия:

• Технология центрифужного нанесения;
• Обеспечение полной защиты пластины во время резки;
• 100% удаление загрязнений и продуктов резки;
• Глубокая очистка и сушка в атмосфере азота.

 

Сравнение характеристик модельного ряда*

	WSC- 977	WSC- 977LA
Максимальный диаметр пластины, мм	Ø 200	Ø 300
Метод очистки	Струйная очистка / очистка под высоким давлением	Струйная очистка / очистка под высоким давлением
Количество сохраняемых программ, шт	8	8
Диапазон рабочих частот вращения стола, об/мин	200–3000	200–2500
Размеры установки (ШxДxВ), мм	410 x 625 x 950	520 x 809 x 950
Примерный вес, кг	100	160

 

* Модификация WCS-977D устанавливается на одну из двух базовых